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    中航長風陪您聊聊線切割機的“內圓切割技術”
  • 發布日期:2019-12-10      瀏覽次數:1588
    •    中航長風陪您聊聊線切割機的“內圓切割技術”
        線切割機按走絲速度可分為高速往復走絲電火花線切割機(俗稱“快走絲”)、低速單向走絲電火花線切割機(俗稱“慢走絲”)和立式自旋轉電火花線切割機三類。又可按工作臺形式分成單立柱十字工作臺型和雙立柱型(俗稱龍門型)。
        線切割機的電火花線切割同內圓切割技術相比有其明顯的弱點:
        一是片厚平均誤差較大;
        二是切割過程中智能檢測控制不易實現;
        三是切割過程的成功率要求較高、風險大,一但斷絲而不可挽救時,直接浪費一根單晶棒;
        四是不能實現單片質量控制,一次切割完成后,才能檢測一批圓片的切割質量,并且圓片之間切割質量也不相同。
        對于以上不足,內圓切割技術的一些改進具體表現在:
        1.自動、單片方式切換操作方便性。
        2.小批量多規格加工時靈活的加工可調性。
        3.切片精度高,切片成本低,同規格級的內圓切片機價格為線切割機價格1/3-1/4,線切割機還需配置粘料機,每片都可調整。
        4.低成本的輔料(線切割機磨料及磨料液要定時更換)。
        5.不同片厚所需較小的調整時間,不同棒徑所需較小的調整時間。
        6.修刀、裝刀方便。隨著硅晶片大片徑化發展,線切割技術是硅片切割的主流技術,在規?;A片切割中將取代內圓切割技術。因此人們加大了對200mm以上線切割機的研究,以解決其技術不足。
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